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技術(shù)文章

TECHNICAL ARTICLES

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  • 202411-20
    全新臺式D6 PHASER應(yīng)用報告系列(七)— 掠入射衍射- X射線衍射XRD

    掠入射衍射介紹掠入射衍射(GID,Grazingincidencediffraction)是研究多晶薄膜的一種常用方法。薄膜樣品在Bragg-Brentano對稱衍射中通常表現(xiàn)出非常微弱的衍射信號,原因在于X射線可穿透薄膜照射到底層襯底,由于襯底其較大的散射體積,導(dǎo)致其衍射信號在終端信號中占據(jù)主導(dǎo)地位。然而,如果不是BB幾何的發(fā)散光路,而是一束細的平行光束照向樣品表面,這樣它只穿透薄膜而不穿透下方的襯底材料,那么來自薄膜的衍射信號則會成為主導(dǎo)。通過優(yōu)化平行光束的入射角度,可以...

  • 202411-20
    如何確保晶圓片在線面掃檢測儀的數(shù)據(jù)準確性?

    在現(xiàn)代半導(dǎo)體制造業(yè)中,對晶圓片表面質(zhì)量的精確檢測是至關(guān)重要的。晶圓片在線面掃檢測儀作為一種先進的檢測設(shè)備,因其能夠?qū)崟r監(jiān)控晶圓片表面的微小缺陷,被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體生產(chǎn)線上。晶圓片在線面掃檢測儀的設(shè)計充分考慮了高效檢測的需求。它通常由一個高速掃描系統(tǒng)和一個高分辨率成像系統(tǒng)組成,能夠在晶圓片傳輸過程中實時捕捉表面圖像,并通過圖像處理算法自動識別和分類各種缺陷。這種設(shè)計不僅能夠提高生產(chǎn)效率,還能夠顯著降低因缺陷導(dǎo)致的產(chǎn)品報廢率。晶圓片在線面掃檢測儀還具備多種高級功能,以滿足不同的應(yīng)...

  • 202411-20
    應(yīng)用分享 | AES俄歇電子能譜專輯之應(yīng)用案例(二)

    上篇介紹了俄歇電子能譜(AES)的定性分析、定量分析及化學(xué)態(tài)分析功能,本篇我們將繼續(xù)分享更多AES高級功能,其中包括表面形貌觀察、深度分析及顯微分析。表面形貌觀察AES作為一種先進的電子束探針表征技術(shù),在納米級乃至更高精度的空間分辨要求上展現(xiàn)出了強大的優(yōu)勢,因此非常適用于納米尺度材料的表征。與掃描電子顯微鏡(SEM)和透射電子顯微鏡(TEM)等依賴電子束探針的技術(shù)相似,AES在電子束聚焦能力上表現(xiàn)出色,尤其是場發(fā)射電子束技術(shù)的融入,極大地提升了其空間分辨能力。當(dāng)前PHI710...

  • 202411-20
    順磁共振譜儀的工作原理和優(yōu)勢

    順磁共振譜儀(EPR)是一種基于電子自旋共振現(xiàn)象,用于研究含有未成對電子的順磁物質(zhì)的儀器。其工作原理和優(yōu)勢如下:工作原理1.建立磁場:首先在儀器中建立一個強磁場,通常使用超導(dǎo)磁體來產(chǎn)生很高的磁場。2.激發(fā)電磁輻射:使用微波源產(chǎn)生特定頻率的微波輻射,這個頻率通常是與順磁物質(zhì)的共振頻率相匹配的。微波輻射被引導(dǎo)到樣品中,并與樣品中的未成對電子進行相互作用。3.收集信號:通過所謂的共振回路(resonator)收集樣品中電子的共振信號。共振回路是通過感應(yīng)線圈和諧振電路組成的。4.分析...

  • 202411-15
    半導(dǎo)體制造:晶圓片在線面掃檢測儀的作用與價值

    在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,質(zhì)量控制是確保芯片性能和可靠性的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。隨著技術(shù)的發(fā)展,晶圓片在線面掃檢測儀成為了這一過程中不可或缺的工具。晶圓片在線面掃檢測儀是一種高精度的檢測系統(tǒng),專門用于監(jiān)測晶圓片表面的微小缺陷。這些缺陷可能包括顆粒污染、劃痕或圖案不完整等,它們都可能影響最終產(chǎn)品的性能。通過實時監(jiān)測,該設(shè)備能夠及時發(fā)現(xiàn)問題并反饋給生產(chǎn)線,從而避免不良品的產(chǎn)生。該檢測儀基于光學(xué)掃描技術(shù)。一束激光或強光被引導(dǎo)至晶圓片表面,并通過高分辨率的攝像頭捕捉反射回來的光線。如果晶圓片表面存在任何...

  • 202411-13
    應(yīng)用分享 | 氬離子設(shè)備 (XPS、PHI710、TOF-SIMS)

    氬離子設(shè)備對于表面分析,樣品表面極易被污染。為了清潔被污染的固體表面,在能譜分析中,常常利用離子設(shè)備發(fā)出的離子束對樣品表面進行濺射剝離,以清潔表面。利用離子設(shè)備發(fā)出的離子束定量地剝離一定厚度的表面層,然后再分析表面成分,這樣就可以獲得元素成分沿深度方向的分布圖。同時,離子設(shè)備也兼具中和樣品表面荷電的作用。一、氬離子設(shè)備原理圖▲圖1氬離子設(shè)備原理圖二、氬離子設(shè)備實圖▲圖2氬離子設(shè)備圖三、氬離子設(shè)備主要作用清潔(樣品表面被污染)清潔被污染的樣品表面,利用離子設(shè)備發(fā)出的離子束對樣品...

  • 202411-5
    揭秘物質(zhì)內(nèi)部結(jié)構(gòu),X射線三維顯微鏡的跨領(lǐng)域影響力

    在現(xiàn)代科學(xué)研究和工業(yè)檢測領(lǐng)域,高精度成像技術(shù)的重要性日益凸顯。X射線三維顯微鏡作為一種先進的無損檢測工具,以其獨特的穿透能力和高分辨率成像特性,成為了材料科學(xué)、生物醫(yī)學(xué)以及工業(yè)質(zhì)量控制等多個領(lǐng)域的研究熱點。X射線三維顯微鏡基于X射線與物質(zhì)相互作用時的吸收差異。當(dāng)X射線穿過物體時,不同密度和組成的材料會對X射線產(chǎn)生不同程度的衰減,這種衰減信息被探測器捕捉并轉(zhuǎn)化為電信號,最終通過計算機處理生成三維圖像。與傳統(tǒng)的二維X射線成像相比,三維顯微鏡能夠提供更為豐富的空間結(jié)構(gòu)信息,使得研究...

  • 202410-30
    XRM應(yīng)用分享 | 高分辨顯微CT檢測技術(shù)在生命科學(xué)領(lǐng)域的前沿應(yīng)用

    隨著科學(xué)技術(shù)的飛速發(fā)展,高分辨顯微CT(ComputedTomography)檢測技術(shù)作為一種非破壞性的三維成像技術(shù),在生命科學(xué)領(lǐng)域展現(xiàn)出了巨大的應(yīng)用潛力和價值。其不僅能夠?qū)崿F(xiàn)生物樣本的精確成像,還能提供豐富的生物學(xué)信息,為生命科學(xué)研究提供了強有力的技術(shù)支持。本文旨在探討高分辨顯微CT檢測技術(shù)在生命科學(xué)領(lǐng)域的前沿應(yīng)用,并分析其在推動科學(xué)進步方面的作用。一、概述高分辨顯微CT檢測技術(shù)是一種基于X射線的高精度三維成像技術(shù),它結(jié)合了CT掃描與顯微鏡技術(shù)的優(yōu)點,能夠在不破壞樣本的前提...

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