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少子壽命測試儀µPCD/MDP (MDPpro 850+)用于單晶硅錠、硅磚和硅晶圓片的生產(chǎn)和質(zhì)量監(jiān)控。用于HJT、HIT、TOPcon、雙面PERC、PERC+太陽能電池、鈣鈦礦等中的硅材料。

MDPmap單晶和多晶硅片壽命測量儀被設計成一個緊湊的臺式非接觸電學表征工具，用于離線生產(chǎn)控制或研發(fā)，在穩(wěn)態(tài)或短脈沖激勵（μ-PCD）下，在一個寬的注入范圍內(nèi)測量參數(shù)，如載流子壽命、光導率、電阻率和缺陷信息。自動化的樣品識別和參數(shù)設置允許輕松適應各種不同的樣品，包括外延層和經(jīng)過不同制備階段的晶圓，從原生晶圓到高達95%的金屬化晶圓。

MDPlinescan在線少子壽命測試儀靈活的OEM少子壽命測試儀器，用于各種不同樣品的少子壽命測量，從單晶硅磚到多晶硅磚，從生長的硅片到不同層或金屬化的硅片的過程控制。標準的軟件接口，便于連接到許多處理或自動化系統(tǒng)。

MDPspot少子壽命測試儀低成本桌面單點測量硅片或晶磚，用于在不同制備階段表征各種不同的硅樣品，無需內(nèi)置自動化?？蛇x手動操作的z軸厚度高達156毫米的硅磚樣品，高達156毫米硅磚，結(jié)果可視化的標準軟件。

弗萊貝格的MDPpro（MDPpro晶圓片/晶錠壽命檢測儀--少子壽命）系列主要用于測量少子壽命、光電導率、電阻率和樣品平整度及p/n檢查等，其非接觸式檢測和無損成像（μPCD /MDP（QSS））的設計*符合SEMI標準PV9-1110。這也使得該儀器在晶圓切割、爐內(nèi)監(jiān)控和材料優(yōu)化等領域被廣泛應用。可以說，MDPpro是晶錠生產(chǎn)商以及晶體爐技術生產(chǎn)商d的標準儀器。

MDPmap（MDPmap晶圓片壽命檢測儀--少子壽命測試）是一個緊湊的離線臺式檢測設備，主要被設計用于生產(chǎn)控制或研發(fā)、測量少子壽命、光電導率、電阻率和缺陷信息等參數(shù)。其工作狀態(tài)為穩(wěn)態(tài)或短脈沖激勵下（μ-PCD）。