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具有寬帶隙的碳化硅基半導(dǎo)體，在制備各種高頻、高溫和大功率電子器件方面具有非常有前景。因此，提高SiC晶圓的質(zhì)量，解決SiC制造工藝的高成本和低成品率是目前工業(yè)生產(chǎn)緊迫的問題之一[1]。而對于在線批量生產(chǎn)，檢測SiC晶圓的質(zhì)量不能不能對其表面產(chǎn)生損傷，因此需要使用高分辨率、非破壞性表面檢測技術(shù)。表面光電壓（SPV）技術(shù)是一種研究光活性材料中電荷分離和轉(zhuǎn)移過程的先進(jìn)方法[2]。光生載流子在空間上的分離和表面光生載流子的演化有關(guān)。因此，該技術(shù)靈敏度高、非接觸式并且在表面監(jiān)測中不具有...

混凝土材料是一種不同于鋼材、瀝青等建筑材料的非均相復(fù)合結(jié)構(gòu)，表現(xiàn)在微觀上，主要呈現(xiàn)出內(nèi)部的多孔形態(tài)、微裂紋的不確定性以及骨料與水泥漿的界面效應(yīng)等，即使是強(qiáng)度高性能混凝土，也會不同程度地含有微孔隙和微裂紋，這就使得對混凝土各組分微結(jié)構(gòu)孔隙和性能進(jìn)行試驗并調(diào)試變得尤為重要，而采用無損檢測技術(shù)，尤其是XRM技術(shù)對混凝土微結(jié)構(gòu)孔隙及界面進(jìn)行分析是當(dāng)前逐步興起，并已證明是較為有效的一種檢測方法，具有精度高、可持續(xù)性好等諸多優(yōu)點(diǎn)。實例一利用XRM對再生混凝土的微觀結(jié)構(gòu)進(jìn)行表征，Skysc...

材料的性能往往由其物相（物相是指試樣中由各種元素形成的具有固定結(jié)構(gòu)的化合物，也包括單質(zhì)元素和固溶體）組成所決定，而不是簡單的與元素組成相關(guān)。比如都是由C組成的無定性碳、石墨、金剛石三種材料性能差別非常大。因此，分析材料的物相組成非常重要，而XRD作為物相分析的主要手段之一被廣泛應(yīng)用。任何結(jié)晶物質(zhì)均具有特定結(jié)晶結(jié)構(gòu)（結(jié)晶類型，晶胞大小及質(zhì)點(diǎn)種類，數(shù)目，分布）和組成元素。一種物質(zhì)有自已衍射譜與之對應(yīng)，多相物質(zhì)的衍射譜為各個互不相干，單獨(dú)存在物相衍射譜的簡單疊加。本文以復(fù)雜的多相材...

近些年來，XRM技術(shù)開始逐漸廣泛應(yīng)用于土壤學(xué)和植物科學(xué)，研究土壤性質(zhì)、土壤微生物對土壤性質(zhì)的影響、植物根發(fā)育及其內(nèi)部結(jié)構(gòu)、內(nèi)部養(yǎng)分運(yùn)輸機(jī)制等等。而隨著發(fā)展的深入，目前XRM技術(shù)也開始被應(yīng)用于植物地上結(jié)構(gòu)的研究中。實例一木材內(nèi)部多孔結(jié)構(gòu)及木質(zhì)部導(dǎo)管表征，BrukerSkyscan1273,7um.木材內(nèi)部多孔結(jié)構(gòu)正交三視圖及局部放大表征木材內(nèi)部整體結(jié)構(gòu)三維表征（左圖）木材木質(zhì)部導(dǎo)管三維分布表征（右圖）實例二土壤內(nèi)部孔隙結(jié)構(gòu)三維表征及定量分析，BrukerSkyscan1275，...

在藥物研發(fā)中，晶型研究貫穿著從先導(dǎo)化合物篩選到終的藥物上市的各個階段。同一藥物的不同晶型在外觀、溶解度、熔點(diǎn)、溶出度、生物有效性等方面可能會有明顯不同，從而影響藥物的穩(wěn)定性、質(zhì)量、生產(chǎn)、生物利用度，療效以及安全性。從18世紀(jì)苯甲酰胺兩種晶型的發(fā)現(xiàn)開始，到創(chuàng)新藥“優(yōu)勢藥物晶型”的尋找，以及仿制藥“一致性評價”的需要，晶型研究已成為藥物研發(fā)過程中的重要內(nèi)容之一。對于企業(yè)而言，藥物晶型定量研究除了對藥品質(zhì)量控制有重大意義外，在知識產(chǎn)權(quán)方面，藥物晶型產(chǎn)權(quán)也是重點(diǎn)關(guān)注的內(nèi)容。在商業(yè)層面...

作為一種非破壞性的表面敏感技術(shù)，X射線反射率（XRR）普遍用于薄膜厚度和粗糙度的表征。當(dāng)X射線的入射角高于臨界角時，X射線束可以部分地透射進(jìn)薄膜從而在界面反射。在一個理想平面上，根據(jù)菲涅耳方程，X射線的反射率以系數(shù)下降。此外，反射強(qiáng)度也受薄膜表面和界面的粗糙度影響。納米尺度范圍的粗糙表面可因誘導(dǎo)的漫散射而進(jìn)一步降低反射強(qiáng)度。因此，可以通過擬合XRR曲線來確定薄膜表面和界面的粗糙度。同時，表面和界面反射光束之間的干涉會在XRR曲線上產(chǎn)生周期性振蕩，即所謂的Kiessig條紋。通...

在材料科學(xué)和物理學(xué)領(lǐng)域，對物質(zhì)內(nèi)部結(jié)構(gòu)的深入了解對于新材料的開發(fā)和基礎(chǔ)研究至關(guān)重要。布魯克X射線衍射儀(X-rayDiffractometer，簡稱XRD)是一種強(qiáng)大的分析工具，它能夠通過非破壞性的方式揭示晶體結(jié)構(gòu)的詳細(xì)信息，從而幫助科學(xué)家探索物質(zhì)的微觀世界。X射線衍射儀的工作原理是基于X射線與晶體格點(diǎn)之間的相互作用。當(dāng)一束單色X射線照射到樣品上時，樣品中的原子會散射這些射線。由于晶體中原子的周期性排列，不同位置的散射波會相互干涉，形成特定的衍射圖案。這些衍射圖案可以被探測器...

三維重構(gòu)成像X射線顯微鏡(3DReconstructionImagingX-rayMicroscope)是一種先進(jìn)的顯微鏡設(shè)備，利用X射線技術(shù)進(jìn)行高分辨率的非破壞性成像，能夠?qū)ξ⒂^結(jié)構(gòu)進(jìn)行三維重構(gòu)和分析。它在材料科學(xué)、生物學(xué)、納米技術(shù)等領(lǐng)域中廣泛應(yīng)用，為科學(xué)家提供了獨(dú)特的觀察和研究微觀世界的能力。三維重構(gòu)成像X射線顯微鏡的工作原理基于X射線的穿透和散射原理。它通過使用高能X射線束照射樣品，并采集樣品對X射線的相應(yīng)散射和吸收信號。利用先進(jìn)的探測器和成像算法，X射線顯微鏡能夠獲取...